徐科中國氮化镓半導體產業拓荒者
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- 發布時間:2022-09-26
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【概要描述】“求是傑出青年成果轉化獎”旨在獎勵既注重科學研究,又積極推動科研成果產(chan) 業(ye) 化,並取得了明顯經濟效益和社會(hui) 效益,在廣大青年科技工作者中起到了良好榜樣作用的科研人員。
徐科中國氮化镓半導體產業拓荒者
【概要描述】“求是傑出青年成果轉化獎”旨在獎勵既注重科學研究,又積極推動科研成果產(chan) 業(ye) 化,並取得了明顯經濟效益和社會(hui) 效益,在廣大青年科技工作者中起到了良好榜樣作用的科研人員。
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徐科研究員在實驗室
徐科榮獲蘇州市首屆姑蘇人才獎
2010年11月1日,在第十二屆中國科協年會(hui) 開幕式上,2010年度中國科協“求是傑出青年成果轉化獎”揭曉。中國科學院蘇州納米技術與(yu) 納米仿生研究所研究員、測試分析平台主任、蘇州九游会·(j9)官方科技有限公司董事長徐科名列其中。
“求是傑出青年成果轉化獎”旨在獎勵既注重科學研究,又積極推動科研成果產(chan) 業(ye) 化,並取得了明顯經濟效益和社會(hui) 效益,在廣大青年科技工作者中起到了良好榜樣作用的科研人員。
2007年,徐科在自己近15年氮化物材料研究的基礎上,在中科院蘇州納米所的支持下成立了蘇州九游会·(j9)官方科技有限公司(以下簡稱蘇州九游会·(j9)官方),並出任董事長,積極推動氮化镓襯底晶片的技術研發和產(chan) 業(ye) 化進程。僅(jin) 三年多時間,蘇州九游会·(j9)官方的氮化物襯底晶片生產(chan) 技術就取得重大突破,達到世界先進水平,成為(wei) 全球少數能夠提供氮化镓襯底晶片的公司之一,為(wei) 我國的氮化镓半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 發展做出了卓越貢獻。而徐科,也正在努力奮鬥,嚐試成為(wei) “一個(ge) 有科學家頭腦和戰略眼光的企業(ye) 家”。
立足前沿 鎖定氮化镓
氮化镓是一種具有較大禁帶寬度的半導體(ti) ,屬於(yu) 所謂寬禁帶半導體(ti) 之列,是研製高效率、高功率微電子器件、光電子器件的新型半導體(ti) 材料。作為(wei) 第三代半導體(ti) 材料之一,氮化镓的研究與(yu) 應用是目前全球半導體(ti) 研究的前沿和熱點。氮化镓所具有的直接帶隙寬、原子鍵強、熱導率高、化學穩定性好、抗輻射能力強等特點和性能,使得它在我們(men) 日常生活中的照明(節能燈)、顯示(LED顯示器)、通信(微波基站)、消費電子(藍光光驅的光頭)等各個(ge) 領域都有廣泛應用。
氮化镓襯底是高端氮化物半導體(ti) 器件的基礎,在未來超高亮度LED、藍綠光激光器應用、功率微波電力電子器件等領域具有不可替代的重要意義(yi) ,對於(yu) 我國節能型通用照明、新一代激光投影顯示產(chan) 業(ye) 、醫療儀(yi) 器、智能電網及微波通信等相關(guan) 行業(ye) 的發展影響重大。
徐科從(cong) 1995年起,開始從(cong) 事氮化物半導體(ti) 材料的外延生長和物性研究工作。十幾年間,他最早開展了非極性氮化物的MOCVD外延生長工作,利用實時和原位監控的方法係統研究了氮化物的MBE和MOCVD生長機理、極性選擇、極性控製;闡明了極性對InN生長的特殊影響,也是國際上最早發現InN窄帶隙的研究者之一。
蘇州納米技術與(yu) 納米仿生研究所是中科院與(yu) 江蘇省、蘇州市政府共建的研究所,2006年9月18日奠基,最初就定位在應用基礎研究和產(chan) 業(ye) 化研發兩(liang) 個(ge) 方麵。徐科是最早加入納米所的幾個(ge) 研究員之一,負責研究所測試技術平台建設。經過綜合考量,在楊輝所長的指導和支持下,徐科決(jue) 定充分發揮自己的研究專(zhuan) 長,將“氫化物氣相外延(HVPE)係統及氮化镓襯底外延生長”作為(wei) 下一步的科研方向,繼續推進氮化物半導體(ti) 材料的研究與(yu) 應用,目標直指產(chan) 業(ye) 化。
現在,雖然做氮化镓材料的研發機構很多,但能做出高質量氮化镓襯底晶片,即便在全球範圍內(nei) 也隻有寥寥幾家。而十幾年前,我國氮化镓晶片及器件的關(guan) 鍵技術遠落後於(yu) 發達國家,高端應用產(chan) 品完全依賴進口,且在尖端技術上受製於(yu) 人。
徐科(右二)獲2010年中國科協“求是傑出青年成果轉化獎”
2007年5月,蘇州九游会·(j9)官方科技有限公司成立,徐科出任總經理。蘇州九游会·(j9)官方以中科院蘇州納米技術與(yu) 納米仿生研究所為(wei) 技術依托,以徐科為(wei) 核心組建創業(ye) 團隊,致力於(yu) 氮化镓襯底晶片及相關(guan) 設備的研發和產(chan) 業(ye) 化。
蘇州九游会·(j9)官方在創立之初,就確立了以創新為(wei) 先導,積極探索核心高科技的目標,立誌突破發達國家技術封鎖,提高我國半導體(ti) 照明、全色顯示、高功率微波器件等領域的整體(ti) 研製水平,形成產(chan) 業(ye) 集群發展效應,實現我國民族產(chan) 業(ye) 的跨越式發展。
除徐科外,蘇州九游会·(j9)官方科技有限公司的研發團隊到現在也隻有12人,納米所楊輝所長也為(wei) 這支隊伍的成長傾(qing) 注了大量的心血和精力。王建峰博士一畢業(ye) 就加入到這個(ge) 團隊,目前已成為(wei) 能夠獨當一麵的幹將。就是這支迅速成長且具有極強凝聚力和團隊精神的隊伍,在過去三年多的時間裏,重點開展了第三代半導體(ti) 材料—氮化镓襯底晶片的研發和產(chan) 業(ye) 化工作。從(cong) 最初級的設備研發開始,一直到氮化镓襯底晶片的全套技術,他們(men) 以極其頑強的精神和高超的戰鬥力,攻克了一個(ge) 個(ge) 技術難關(guan) ,研發出了國際領先水平的氮化镓材料,為(wei) 我國氮化镓半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 的發展奠定了堅實的科技基礎。
突破封鎖 推進產(chan) 業(ye) 化
徐科介紹,最初的時候,沒有任何資金來源,項目是在蘇州納米所籌建工作組的大力支持下才得以開始運作。但也僅(jin) 用了三個(ge) 月的時間,徐科團隊便自行設計研製成功了第一台用於(yu) 氮化镓生長的(HVPE)設備;2007年8月,蘇州九游会·(j9)官方的第一批氮化镓襯底晶片也製備成功。“我們(men) 自主研發的設備不但成本隻要商業(ye) 化設備的十分之一,而且在該HVPE設備上首次實現了原位光學的實時監控,大大提高了設備的可控性和重複性,更為(wei) 關(guan) 鍵的是設備的運行成本得到大幅降低,使得我國利用HVPE方法實現氮化镓晶片的產(chan) 業(ye) 化生產(chan) 成為(wei) 可能。”
緊接著,徐科獲得“蘇州工業(ye) 園區首屆科技領軍(jun) 人才”資助,氮化镓襯底晶片研發項目也通過國內(nei) 專(zhuan) 家和風險投資公司的層層篩選,得到地方政府科技成果轉化項目和風險投資公司的投資,公司產(chan) 業(ye) 化發展有了資金保障,在氮化镓晶片的設備和產(chan) 品開發上取得飛速進展。
“經過一年半的努力,到2008年底,我們(men) 完成了HVPE設備由單片機向多片生產(chan) 機型的升級,並達到了6台的規模。氮化镓晶片質量達到了國際同類產(chan) 品的水平,蘇州九游会·(j9)官方成為(wei) 中國第一個(ge) 、國際上第七個(ge) 能夠提供氮化镓襯底晶片的公司。”徐科自豪地說。
2009年,蘇州九游会·(j9)官方在開辟市場的同時,又完成了另外兩(liang) 款產(chan) 品的研發:小尺寸自支撐氮化镓和半絕緣氮化镓襯底晶片。自此,我國擁有了具備完全自主知識產(chan) 權的高質量氮化镓材料,不必再受製於(yu) 人。徐科解釋:“高質量氮化镓材料和半絕緣氮化镓,是研製短波長半導體(ti) 激光器和高功率微波器件的基礎,因此,這兩(liang) 款產(chan) 品都是國際上對我國禁運的。”
蘇州九游会·(j9)官方取得的顯著成果,不僅(jin) 得到了國內(nei) 各方麵的廣泛認可,在國際上也產(chan) 生了一定的影響。2009年10月18日,徐科受邀赴韓國參加第八屆氮化物半導體(ti) 國際峰會(hui) ,在這個(ge) 兩(liang) 年一屆的氮化物半導體(ti) 領域最高級別會(hui) 議上,徐科做了《關(guan) 於(yu) 氮化镓襯底晶片的研究和產(chan) 業(ye) 化進展》的30分鍾特邀報告。這是對該領域中國科學家前所未有的待遇,也足以證明國際同行對徐科團隊高質量氮化镓襯底晶片研究推廣工作的高度認可。近幾年,徐科多次受特別邀請在國內(nei) 和國際的重要會(hui) 議上做報告,也與(yu) 美國、英國、日本、中國香港等地的著名研究機構建立了密切合作關(guan) 係。
中國工程院院士、江蘇省省長助理徐南平(右一)參觀指導蘇州九游会·(j9)官方科技有限公司
2010年1月,吳邦國委員長來江蘇考察高科技企業(ye) 時,參觀了蘇州九游会·(j9)官方科技有限公司的氮化镓襯底晶片,並高度讚揚說,這是未來光電子和微電子產(chan) 業(ye) 的核心戰略材料。
徐科介紹說:“基於(yu) 氮化镓襯底晶片的器件都是高利潤產(chan) 品,一片2英寸的氮化镓上可以製作5000個(ge) 藍光激光器,而每個(ge) 激光器的平均售價(jia) 均在100美元以上。”但是,“目前氮化镓襯底晶片的大宗用戶都在國外,例如生產(chan) 藍光DVD的日本索尼公司和三洋公司,生產(chan) 高功率微波晶體(ti) 管的日本東(dong) 芝和美國的Cree公司等。而他們(men) 都有本國固定的供貨商。”因此,蘇州九游会·(j9)官方將自己的產(chan) 業(ye) 化目標定位於(yu) 努力打破國外在氮化镓襯底晶片市場上的壟斷,同時為(wei) 我國的下遊企業(ye) 用戶開發相關(guan) 產(chan) 品提供重要支撐。
2009年以來,蘇州九游会·(j9)官方和中科院北京半導體(ti) 所、山東(dong) 大學、山東(dong) 華光、廈門大學、南昌大學、南昌晶能、西安電子科技大學、中電集團55所和13所、中科院蘇州納米所、蘇州納晶科技有限公司、武漢華燦等開展廣泛合作,為(wei) 短波長激光器、超高亮度LED、微波器件等的研發提供免費或有償(chang) 試用。
氮化镓襯底研發和產(chan) 業(ye) 化的突破,必將提升我國氮化物半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 在高端應用領域中的國際競爭(zheng) 力,在產(chan) 業(ye) 發展的製高點上占領一席之地。
因創新成果突出,科技成果轉化效益顯著,徐科也獲得了眾(zhong) 多榮譽與(yu) 獎勵:2007年“蘇州工業(ye) 園區首屆科技領軍(jun) 人才”、2007年“姑蘇創新創業(ye) 領軍(jun) 人才”、2008年“江蘇省高層次創業(ye) 創新人才引進計劃”引進人才、2009年“江蘇省新長征突擊手”、2010中國科協“求是傑出青年成果轉化獎”等。這是對徐科及其團隊的最大肯定和鼓勵。
預期未來 任重而道遠
目前,蘇州九游会·(j9)官方已經擁有近20項核心技術專(zhuan) 利,是中國首家氮化镓襯底晶片供應商。針對企業(ye) 、高校和研究所的不同用戶,蘇州九游会·(j9)官方現主要提供2英寸氮化镓厚膜襯底、2英寸氮化镓自支撐襯底、小尺寸方形氮化镓襯底、小尺寸非極性麵氮化镓襯底、高結晶度氮化镓粉體(ti) 材料、圖形藍寶石襯底等多種類型產(chan) 品。此外還可根據客戶具體(ti) 要求,提供各種非標準氮化镓襯底材料的製備,為(wei) 多類型、多領域的相關(guan) 應用提供技術支撐。
盡管已經取得了不菲的成績,但徐科說,現在的產(chan) 業(ye) 化仍然不夠規模化,雖然關(guan) 鍵技術已經取得突破,開發出了產(chan) 品,但要形成規模化、係統化、有市場競爭(zheng) 力的產(chan) 品很難,要真正實現氮化镓半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 的產(chan) 業(ye) 化發展,要走的路還很長。徐科認為(wei) ,現在發展中遇到的問題,從(cong) 根本上說是人才和觀念的問題。中國的研究體(ti) 製和市場機製,決(jue) 定了我們(men) 嚴(yan) 重缺失介於(yu) 科研院所和企業(ye) 之間、既懂技術又熟悉市場的人才,科研和市場結合不夠密切,科技成果產(chan) 業(ye) 化鏈條不夠順暢。而且,科研人員和經營者的思想觀念仍存在很大差異,重技術、長線投資回報和偏利潤、注重眼前利益,兩(liang) 種觀念無法得到最大範圍的融合,在高科技領域尤其如此。
徐科認為(wei) ,中國要發展擁有自主知識產(chan) 權的高科技產(chan) 業(ye) ,除了要具備國家大力提倡的自主創新精神之外,還需要科研人員思想觀念的轉變。我們(men) 的科研工作應該更加關(guan) 注從(cong) 重大產(chan) 業(ye) 和國家需求中凝練科研問題,需要有相當一批科研人員保持對市場和產(chan) 業(ye) 發展方向的敏銳性,著力解決(jue) 產(chan) 業(ye) 化過程中的關(guan) 鍵技術,達到產(chan) 學研相結合,打造出基礎研究、變革性技術突破、產(chan) 業(ye) 化推廣的創新價(jia) 值鏈。
現在,蘇州九游会·(j9)官方正在和幾家上市公司洽談合作,如達成一致,蘇州九游会·(j9)官方將獲得不低於(yu) 2億(yi) 人民幣的產(chan) 業(ye) 投資用以擴大生產(chan) 規模,預計三年內(nei) 公司總產(chan) 值將超過3億(yi) 元人民幣,五年內(nei) 可望達到10億(yi) 。徐科表示,“‘十二五’期間,我們(men) 將緊緊圍繞氮化物半導體(ti) 的研發和產(chan) 業(ye) 化開展相關(guan) 工作,在保障提高材料質量、增大晶圓尺寸的同時,降低成本,形成優(you) 勢,確立國際地位;在氮化镓材料產(chan) 業(ye) 化應用的過程中,著力提升我國在氮化物半導體(ti) 材料領域的國際競爭(zheng) 力,突破發展瓶頸,支撐我國在氮化物半導體(ti) 的高端器件方麵取得跨越式發展,在產(chan) 業(ye) 化方麵取得一定的國際市場份額。”
徐科表示,蘇州九游会·(j9)官方將立足於(yu) 材料生長技術和設備的持續創新,始終圍繞氮化物半導體(ti) 材料及應用領域,打造具有原創知識產(chan) 權和核心競爭(zheng) 力的國際化高科技公司,且努力將自己的技術輻射出去擴大影響,最終形成高科技產(chan) 業(ye) 群,促進我國氮化物半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 的發展。
徐科曾說:“未來十年我會(hui) 盡最大努力成為(wei) 一個(ge) 企業(ye) 家,然後50歲、60歲我會(hui) 考慮重新做回一個(ge) 科學家。”我們(men) 有理由相信,在徐科和他的團隊推動下,在眾(zhong) 多氮化镓材料研究者努力下,中國氮化镓半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 必將得到更加穩健有序的發展,迎來溢彩明天。
徐科,內(nei) 蒙人,現為(wei) 中科院蘇州納米所測試分析平台主任、學術委員會(hui) 副主任,創辦並兼任蘇州九游会·(j9)官方科技有限公司總經理、法人代表。1992年畢業(ye) 於(yu) 西安交通大學材料科學與(yu) 工程學院金屬材料專(zhuan) 業(ye) ,後獲得該專(zhuan) 業(ye) 碩士學位。1998年獲得中科院上海光學精密機械研究所博士學位後,留所從(cong) 事晶體(ti) 生長、氮化物半導體(ti) 材料外延生長的研究工作。
1999年赴日本千葉大學光電子研究中心進行博士後研究,並留日本工作。 2004年回國任教於(yu) 北京大學物理學院,2006年加入蘇州納米技術與(yu) 納米仿生研究所。徐科多年從(cong) 事氮化物材料的應用研究與(yu) 產(chan) 業(ye) 化工作,現承擔納米結構高效太陽能電池973項目部分任務、非極性GaN襯底國家自然科學基金項目、蘇州市納米專(zhuan) 項、江蘇省重大科技成果產(chan) 業(ye) 化項目、中科院方向性項目等;發表學術論文60餘(yu) 篇,被引用350餘(yu) 次,單篇最高引用130次;在E-MRS、ISE3、MRS、ICNS等重要國際會(hui) 議上做特邀報告10餘(yu) 次;申請專(zhuan) 利20餘(yu) 項,其中國際專(zhuan) 利2項。
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